严鹏：1970年代中国制造光刻机的一段往事

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中科院深圳先进院由中国科学院、深圳市政府及香港中文大学于2006年2月共同建立，实行理事会管理，探索体制机制创新。该研究院瞄准国际一流工研院，致力于建设与国际学术接轨、与粤港澳大湾区产业接轨的新型科研机构，定位为提升粤港澳大湾区制造业、健康产业和现代服务业的自主创新能力，推动自主知识产权新工业建立，率先建成国际一流科研机构。